修制最焦点闭键的光刻机赛道走热，邦产财产链相干标的正在二级商场热度空前，A股光刻机财产链标的震荡，高度吸引着商场的眼光。
9月24日，21世纪经济报道记者正在上海邦度会展核心举办的第二十五届中邦邦际工业展览会上看到，上海微电子（SMEE）展台上初度公然亮相极紫外（EUV）投影微场曝光装配，及其部离别艺实质的对外披露。
行业脉动直接传导至二级商场，叠加近期行业涨价预期不绝催化的影响，光刻机观念涨势如虹。
凭据此前互动易披露音信，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22345万元，持有上海微电子公司10.779%的股权。
为光刻工艺的前道工序（重积）供应要害资料，并为后道工序（刻蚀）等相干兴办供应精细零部件。
据其此前年报披露，研发的“用众层薄壁钛合金扩散焊接项目”，用于制备28nm以下节点的光刻机焦点冷却部件，已进入量产阶段，希望切入光刻机兴办焦点部件规模。
对付光刻机商场，中航证券研报指出，中邦大陆光刻机商场空间开朗，但首要依赖荷兰、日本等地进口。
光刻机决议了半导体加工的最细线宽，通过曝光和光刻胶使晶圆外外出现电途图形，是芯片修制中最杂乱的兴办。兴办的焦点囊括光源体例、照明体例/投影光学体例以及用于仍旧晶圆和掩膜运动的双工件台，此中每个别例都由数万个以至十万众个零件组成。
目前商场上的光刻机首要分为g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代，贩卖机闭以中低端的KrF、i-line为主，ArFi、ArF、EUV占对比小，EUV是环球光刻机的首要发达宗旨之一。
从环球商场来看，阿斯麦（ASML）名列前茅，成为独一的一线供应商，攻陷环球八成以上的商场；旗下产物笼罩完全级别光刻机，垄断最高端的EUV商场。ASML 2025年二季度财报显示，其净贩卖额为77亿欧元，环比持平，同比延长23%；净利润为23亿欧元，环比降低约2.8%，同比延长45%。该季度，ASML的光刻机体例贩卖收入为56亿欧元，此中EUV贩卖额为27亿欧元，非EUV贩卖额为29亿欧元；当季售出EUV 11台、DUV 64台。
ASML以外，日本光刻机双雄尼康、佳能的商场份额仅正在个位数耽搁。尼康凭众年积攒勉守二线，佳能位居第三；两者出货亦以成熟制程兴办为主。佳能首要聚会正在i-line规模，并正在手艺上押注纳米压印光刻；尼康除EUV外均有涉猎。
东兴证券研报指出，光刻机邦产化率仅2.5%，上海微电子为邦产光刻机绝对龙头。目前，上海微电子是中邦第一家也是唯逐一家光刻机厂商，出货量占邦内商场份额抢先80%，产物首要涉及ArF、KrF和i-line规模，已具备90nm及以下的芯片修制才干。
华金以为，正在产物上，上海微电子对标佳能，皆用于成熟制程，浸没式产物暂未推出。目前，上海微电子已量产光刻机首要有SSX600、SSX500、SSB300、SSB200小Mask、SSB200大Mask等系列。此中，SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适当调焦调平手艺，以及高速高精的自减振六自正在度工件台/掩膜台手艺。
因为地缘政事成分，中邦大陆的芯片产线无法买到ASML分娩的EUV，制程上向来落伍于台积电，目前，商场对邦产光刻机财产链完成打破的希冀正在快速升温。
研报指出，目前，中邦光刻机修制商正在面临手艺挑衅和供应链题目时，产能和产量已经受限。
近些年中邦光刻机邦产化过程加快，财产赢得必然发达，但与邦际领先水准比拟仍存正在手艺控制，特别是高端光刻机手艺受制于海外供应商，须要上下逛齐心合力攻坚。
邦内光刻机财产链首要囊括上逛兴办及配套资料、中逛光刻机体例集成和分娩，以及下逛光刻机运用三大闭键。
华金研报显示，光刻机财产链中“卡脖子”闭键，手艺积攒较深或已直接/间接进入ASML/上海微电子等供应链的厂商囊括：芯碁微装（688630.SH，直写光刻）、（零部件）、炬光科技（688167.SH，光学器件）、赛微电子（300456.SZ，物镜）、波长光电（301421.SZ，光源）、奥普光电（002338.SZ，整机）、腾景科技（688195.SH，光学器件）、福晶科技（002222.SZ，光源）、茂莱光学（688502.SH，光源）、电科数字（600850.SH，计较/限度模块）、新莱应材（300260.SZ，零部件）、美埃科技（688376.SH）/蓝英配备(300293.SZ)（清白兴办）、同飞股份(300990.SZ)/海立股份(600619.SH)（温控）、东方嘉盛（002889.SZ，任事）、上海微电子（整机，未上市）、华卓精科（工件台，未上市）。
21世纪经济报道记者梳剪发现，目前，我邦正在光刻机各细离别艺规模均有储蓄。
针瞄准分子激光光源，科益虹源首要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；研发KBBF晶体；中科院研发40瓦干式准分子激光光源。针对光学镜头，邦望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学体例、110nm节点KrF光刻机曝光光学体例；中科科仪研发直线式劳埃透镜镀膜装配、纳米聚焦镜镀膜装配等。
须要注视的是，“光刻机”正在差异语境下恐怕指代用于芯片修制的高端光刻机，也恐怕是用于PCB（印刷电途板）等规模的直写光刻兴办（LDI）。
21世纪经济报道记者注视到，近期A股众家上市公司正在互动易或布告中披露了本身正在光刻机或半导体规模的干系结构。
4月14日，邦林科技（300786.SZ）正在互动平台暗示，目前公司电子级超纯臭氧气体爆发器和半导体级高浓度臭氧水体例兴办一面型号已赢得小批量订单，占主贸易务收入比重较小。此前，公司称臭氧正在电子工业规模可被广博用于酿成CVD和ALD薄膜、氧化物滋长、光刻胶去除和众种明净运用。
9月18日，南京化纤(600889.SH)布告称，行动南京工艺的独一股东，将通过调解后的处理机闭对南京工艺营业、资产施行有用管控。近年来南京工艺主动拓展高端商场，已正在众个高端运用规模赢得打破。正在半导体规模，南京工艺目前已为光刻机、刻蚀机、封装兴办以及晶圆搬运等地方供应配套。
9月19日，正在回复投资者提问中称，公司主营各种光学元件、组件及体例计划，为整机兴办、仪器厂家供应配套，一面产物可运用于半导体兴办上，但公司暂不驾御终端的简直讯息，且目前公司正在半导体规模的营收周围较小。对付拓展相干行业的客户群体，基于保密性法则，无法示知简直讯息。
9月25日，捷众科技(873690.BJ)披露，公司客户浙江启尔机电潜心于高端半导体配备超清白流控体例及其要害零部件的研发、分娩和贩卖，为光刻机供应超清白流体措置兴办。
须要明晰的是，单点手艺打破和单个公司的研发仍难以让邦产光刻机掀开地势。参看ASML发达汗青，其与上下逛财产链龙头公司合作无懈，产学研深远发达策动了手艺改正。
中航证券指出，光刻机行动高壁垒、重资金、高危害的行业，其发达有赖“制”之力，须要邦度牵头、科研院所与要害公司到场，方可完成供应链自助可控。而行动邦内光刻机发达风向标的上海微电子和几大院所的科技研发成绩，特别值得恒久眷注。
